随着激光技术的发展, 人们将注意力越来越多地投注到激光技术在其他技术领域和工业领域的应用上, 并且出现了许多切合实际应用的新设备。在这些激光应用领域中, 无不涉及到对激光光束的调制和扫描技术早期的激光应用系统, 如: 激光切割, 焊接, 打标等设备均采用固定激光头同时沿X一Y 方向移动载有被加工物体的平台。这种方式具有方便和简洁等特点, 配合高精度的驱动电机和转动丝杠也可获得很高的加工精度。但是平台的移动速度和行程均受到很大的限制, 对于在线应用的系统就显得力不从心了。

旋转多棱镜是另外一种激光束扫描调制的手段。在这种扫描方式中, 一个高速旋转的电机带动着多角棱镜旋转, 激光束投射到棱镜的表面上并反射。在棱镜转动的过程中, 投射到棱镜表面激光的入射角发生变化从而使反射光完成扫描过程。在这种扫描方式中, 可以实现很高的扫描频率和较大的扫描角度早期的激光打印机和激光照排等设备中, 大多使用这种扫描方式。但是旋转多棱镜的最大缺陷在于它的扫描效率很低, 因此在一些需要较大的入射孔径和较高分辨率的应用中, 就不能令人满意了。

振镜式扫描是由G e n e r a l cS a n n i n g 实验室发展起来的一种激光扫描技术, 自从1 9 6 5年第一个振镜扫描头被发明以来, 在扫描精度上和频率上有了长足的发展。从目前的扫描性能上来说, 振镜式扫描可以算作最好的激光扫描方式之一。它是利用两个振镜扫描头构成的二维激光扫描成像装置。目前这样的激光扫描装置已广泛地应用到激光打标,半导体调阻和共焦显微成像系统中。

通常使用的这种基于激光扫描的成像技术称为“ 激光共焦( 显微) 成像” 技术。在这种激光共焦显微成像系统中, 一只固定的高灵敏度点探测器代替了传统的C C D。光束扫描系统(通常采用振镜扫描系统) 将激光光束指向被检测物体上的一点, 成像系统将来自该点的反射光会聚于点探测器并构成最终成像中的一像素。然后光束扫描系统将激光束指向下一点, 检测过程再重复进行。如此一点一点进行测量, 直至全部成像完成。与C C D成像方式不同, 在这样的检测过程中, 像素的位置由扫描光束的位置确定而不是由( C C D中) 探测器中的固定检测单元决定。因此这样的检测方式中, 我们可以通过软件来控制变焦过程。成像像素数目( 分辨率) 则由扫描像素时钟( P i x e l C l o e k )确定。在许多实际应用中, 上述技术( 相干光加上像素密度可调节) 较传统C C D 技术有很大的优越性。这些应用包括: 共焦成像, 双光子激发成像, 荧光成像, 金属及玻璃等缺陷检测/ 监测等过程。